电子重生-第111部分

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周硕看着涂岸北和他身边一群人快被自己忽悠瘸的眼神，情不自禁哈哈大笑起来。他笑了一阵，摆了摆手说道：“好了，不卖关子了。其实说白了，我手里有一项技术可以在短时间内把0。8微米工艺提高到0。5微米水平上来。但是以国内目前的芯片制造工艺水平，没有大规模推广的可能。所以我们要制造泛翰研究所已经突破0。5微米技术难关的假象，然后等日本人急不可耐的把设备卖给咱们。”

涂岸北不由恍然大悟道：“原来如此！我就说周校长你不会是无的放矢的人嘛。最后一个问题，你要怎么在这么短的时间里，把工艺提高到0。5微米？”

周硕背着手，得意的笑道：“道理其实很简单，那就是用水。”

“水？”涂岸北脑袋里划过一丝灵感，若有所思的念叨着。（未完待续。。）

第二百六十四章　水的奥秘

“水，而且是18兆欧的去离子纯水。”周硕用力的点了点头。

水，我们这个星球上面无数生命的源泉。它由一个氧原子和两个氢原子组成，在常温常压下为无色无味的透明液体。

它有很多的物理特性，比如说温度不同导致的密度和形态变化，重水、轻水、超临界水等不同的特殊状态，以及流动性、热传导性、溶解性和导电性等等，这种地球上最常见、可以说是成分最简单的物质之一，想要写完它的全部知识却需要一本最厚的书。

但具体到光刻机技术上，为什么周硕说水可以让0。8微米工艺，短时间内跨越到0。5微米技术？

这还要从光刻机工艺提升的两个方向说起。

所谓的制程工艺，究竟指的是什么呢？制程，实际上就是单晶硅晶圆上面的线宽。构成集成电路的基础，是单晶硅圆片上通过光刻腐蚀出来的线条。这些线条的粗细，也就决定了同一块芯片能够集成多少晶体管，能够达到什么样的性能。

而光刻机上决定线宽的因素，主要是光源和镜片这两种。光刻机生产芯片，其本质上和照相机并无太大区别。光线照射景物然后反射到照相机的镜头上，最后在胶片上形成影像。这个影像不就是比实物要小的多的多了吗？

同样，光刻机在单晶硅圆片上留下来的线条，可也不是一笔一笔刻上去的。而是通过对光学掩膜版进行曝光，然后让这些设计好的逻辑电路影像通过一组组镜头。最终得到比掩膜版要小得多的图像。这样对光敏感的光刻胶，就会被有选择的光照所去除。这些没有光刻胶覆盖的晶圆部分。就会在接下来的工艺中成为晶体管的结构基础。

不断的追求镜片加工极限，就是光刻机提高工艺水平的主流选择。这也是为什么全世界只有三家光刻机生产商。而最为著名的就是日本尼康和荷兰阿斯麦（as。ml）。尼康本身就是日本战前做潜艇潜望镜的厂家，后来则是相机业的霸主。而阿斯麦的镜头则来自于卡尔蔡司，这家公司干嘛的就不用说了，地球人都知道。光刻机离开了这两家光学企业，什么摩尔定律都得去见鬼。

当然，这并不是说就没有其他办法来提高工艺条件了。除了镜头，实际上使用何种光源也会导致线宽的不同。不同波长的光波，就如不同规格的刻刀。波长越短的光波，就能够在光刻胶上留下越细的痕迹。最早的光刻机因为加工精度不高。使用的汞灯只能提供365nm的i线光。后来更换了准分子激光之后，光波才降低到了193nm的激光。

未来想要缩小刻蚀的分辨率，甚至还要继续上14nm的极紫外光。至于10纳米以下，可能人类的科技就已经研究出其他的加工方式了吧。

当然这些只是不准确的科普说法，如果具体要解释一下光波和刻蚀分辨率的关系，或者解释一下照准系统的最大分辨率概念之类的……

本书的长度恐怕会有些不足，以及略有骗稿费的嫌疑。虽然这些知识如果真的讲出来千字3分就太便宜了。本着经不轻传的道理（其实作者也不懂）就不多说了。

言归正传，涂岸北脑海中灵光一现，正是水的一种特性。那就是光通过液体介质后光源波长就会缩短。其缩短的倍率即为液体介质的折射率。也就是说光刻机的光源如果在照射到光刻胶之前先在水中穿行一次，就相当于换了一个更细的刻刀。

而水的折射率是1。44，当0。8微米波长的光线穿过水之后，0。8除以1。44岂不正是0。56微米？如果这项技术真的有可行性。那确实是可以在不提高精密制造水平的前提下，得到更高一代的芯片制程技术。

这么简单的原理，周硕当然不是第一个想到的。用水缩短光源的波长来提高制程工艺。是未来光刻机普遍采用的技术。也就是学名叫做沉浸式光刻机的设备。通过不断努力，未来的光刻机早就已经实现了这项技术。不仅是折射率1。44的水。更开发出折射率更高的液体。沉浸液成为镜片和光源之外，第三个能够快速减小线宽的因素。

“怎么样。大家现在还有什么疑问没有？”

在场的十四个研发人员都是周硕一手挑出来的大才，谁的心思不是一点就透。有几个甚至就是中科院里，参加了0。8微米全套工艺开发的研究员。他只是透出一点话头，这群人的眼睛立刻就亮了起来。

使用水作为沉浸液还面临着很多的问题，比如说光刻胶的溶解、水中的杂质和稳定性，蒸发扰动以及水中气体的去除……

但这些问题和提高精密制造水平，根本不可同日而语。精密制造那是拼基础积累的领域，但拼化学和系统设计，中国人可是太有信心了。

传承自苏联的中国科学家，在系统设计方面可是深谙如何用巧妙方法克服困难要求的。至于某些方面技不如人的自卑，那就完全没有必要了。这种处境既可以叫穷国的无奈，也可以叫发展中国家的后发优势，全看人们从什么角度解读了。

以中国未来取得的成就来看，大可自豪的说是属于后一种角度。

“唔，我看这个路线说不定可以。”涂岸北缓缓的点了点头，笑道：“周校长这个办法确实是奇思妙想，我看有尝试一下的必要。”

“我也觉得能成。”他身边之前质问周硕的中年男人，也不自觉的点头道：“如果光刻胶的防溶解配方一时拿不出来，我看可以增加一组镜头把水和晶圆隔离开。”

“水中的气体可以通过真空法去除，这样我们就只需要考虑蒸发造成的扰动了……”

这十四个研究狂人，在周硕指出了路线之后，很快就一个个都找到了自己专业的切入点。丝毫不在意之前自己还对这个计划表示反对，和实打实的科技成果比起来，面子值几个钱？国家投入十几个亿，花费了三年时间才把工艺从1。2微米推进到0。8微米。如果被自己从0。8微米再推进到0。5微米，恐怕当前实验室里又要多几个能领国。务。院津贴的了吧！

周硕笑着点头道：“大家不要着急，我已经为你们每个人的研究内容，专门写了个计划书。接下来一个月，我们只要能够按部就班的完成计划书里的研究任务，肯定就能准时的拿出0。5微米工艺生产线。”

涂岸北看着周硕从一旁推出来的文件车，窘迫的笑着摇了摇头说道：“之前真不应该怀疑周校长，你可从来都是谋定而后动啊！有这种东西也不早拿出来，不然哪来这么多麻烦？”

周硕拱了拱手，笑嘻嘻的说道：“怪我、怪我，涂老你千万大人有大量！”

这也是周硕一直以来在研究管理上的心得，直接上来就拿出试验计划，下面人难免会觉得反正是老板的项目，做起来多少会有些懈怠没有动力。但如果事先通过启发的方式，让下面人了解了自己的思路和意图，那么他们就会把这个实验当做是自己验证知识的过程。可别小看这似乎多此一举的行为，周硕又不是全知全能的神。给出的试验计划里难免有疏漏和谬误的地方，研究员的积极性和主观能动性这时可就是实验成败的关键了。

众人从周硕推出来的文件车上，　取了自己负责方向的计划书。在超净室里面，即使是纸质文件也不能裸露出来的，每一份文件的每一页，都是用透明塑料进行了严格的密封。这让他们拿到手里之后，计划书显得颇有分量。

涂岸北翻了几页实验计划书，感叹的向周硕问道：“既然有这样的技术，我们何必去买日本人的设备？改造一批国产的0。8微米工艺生产线，我们立刻就能追上国际主流水平了。”

周硕微微摇了摇头，遗憾的说道：“这就是我把它命名为杜鹃计划的原因，沉浸式光刻机在目前的技术上并不成熟。又不是呆着没事我才把实验室设在地下的，建造成本就多出来不知道多少倍造价。但地下实验室也有很多好处，比如说温度恒定、精密设备受到的干扰少等等。要知道沉浸式光刻机的关键在水，而水一旦受到一丝晃动，放大到芯片上都是不能接受的。”

“我们的0。5微米工艺，除了光源以外仍然是0。8微米的底子，这势必就会造成生产困难和良品率极低。只有让日本人相信我们已经掌握了0。5微米工艺，为了扼杀我们的研究成果，打开向国内供应0。5微米生产线的口子。接下来得到他们的0。5微米线，才能补全这条线的工艺基础。”

他斩钉截铁的说道：“只要能够真正和美、日站在同一个起跑线上，我不信中国人就一定会在这场比赛中仍然落败。”（未完待续。。）

第二百六十五章　一茬又一茬

吴浩站在科委的大门前，焦急的四下张望着。随着九月末的临近，眼看着九五规划就要在十四届五中全会上面提交审议。科委这边的工作强度也骤然增加了起来。尤其是他这办公室主任的位置屁股还没有做热，更是搏前程、图表现的时候。

但这样紧迫的时间里，他仍然在百忙之中抽出了空闲，专门出来迎接周硕的到来。这当然不是说周硕的面子大，而是这次摊上的事情未免大了一点。

大切诺基从街角开出来，平稳的停在科委门前的停车场里。周硕从车上跳下来，很容易就看到已经被秋日晒的满头大汗的吴浩。

“哟，老吴你怎么站在这里呢。”周硕赶紧小跑了两步，把他拉近了阴凉的室内。

“哎，还不是要赶着拦住你？”吴浩擦了一把头上的汗，叹口气说道：“这次你可摊上大事儿了，我要是不嘱咐一句，心里没底啊！”

他拉着周硕的手，语重心长的说道：“听我一句劝，一会儿千万别硬顶。一个研究员而已，给赵院长退回去，少了张屠户还要吃带毛猪？”

周硕呵呵干笑了两声，摇头道：“老吴，这不是一个研究员的事情。今天他赵院长能找到科委大领导头上，来要回自己一个研究员。明天就要有更多的人找过来，从我泛翰研究所里把他们的人捞回去。人，我既然抓到自己手里了，说什么都不会再松开的。”

“哎呀，你怎么这么死脑筋？”吴浩气的直跺脚。辩解道：“那赵老头是好惹的吗？中科院光电所的大老板！就是我们科委的大领导和他说话也要客客气气的。你要不是挖走了他的手下大将，人家连正眼也不会看你一眼！”

“不是我死脑筋。而是他们光电所死脑筋啊！”周硕也忍不住大倒苦水：“麻友公既然是他光电所的得力干将，就给人家定一个助理研究员的等级。一个月拿不到八百块的死工资？人家老婆下岗、孩子待业、上有老下有小，搞的一个月连一次肉都舍不得吃，这就是对待人才的态度？”

周硕也是越说火气越大，指天说道：“今天这是我把麻友公挽留下来，他赵院长才能到中央去告我的状。可你知不知道同时还有一家日本公司，正在和他接触？我要是下手再晚点，人家说不准就已经坐上去日本的飞机了！难道到时候他赵院长还能去外交部抗议不成？”

“我的周大校长！”吴浩急道：“人在屋檐下，谁能不低头？你泛翰集团毕竟是中国公司，这又有什么办法？”

吴浩也知道这不合理。哪有自己国家的人才被外国公司挖走没事儿，本国公司反而不能挖的道理？但时下就是这么个环境，别说是日本公司了，不管是弯弯也好，港商也罢哪个不是在享受着超国民待遇？也不光是人才上，外国投资商来中国投资就是三面五减半，低价拿地，vip政府服务。轮到本土商人，不说得照章纳税。工商消防卫生一天查你八遍！

“好了，老吴。”周硕一摆手，制止了吴浩的劝解，冷静的说道：“你说的我都懂。但我不能按照你要求的那么做。如果我真的把麻友公放手，就是对中国科研事业在犯罪！”

吴浩看着周硕失望的摇了摇头，叹口气说道：“好吧、好吧。算我多管闲事。你周校长什么都好，就是一涉及到这些科研问题的时候。个顶个的较真。”

周硕拍着他的肩膀，认真的说道：“老吴。我知道你的一片苦心。这份情我记住了，以后一定还！”

“咱哥们，还说什么你你我我的？”吴浩落寞的摇了摇头，指向办公楼里面说的：“好了，别让大领导久等了，你快去吧。”

“成，那等我出来了，咱们再聚聚。”周硕挥了挥手，向楼上走去。

科委大领导的秘书在三楼的楼道口显然已经等了一会儿，见到周硕姗姗来迟也没有多说什么。只是点了点头，默默的在前面带路。

科委大领导办公室所在的三楼，显然今天的气压很低。明明不断的有人在走廊里经过，但却极少会发出什么声音。间或有一两间办公室开着门，屋里说话的人也都是趴着别人的耳朵，把音量控制在两个人的范围内。

还是前些日子的那扇门，堂堂的科委大领导，办公室大门却有些斑驳掉漆。铁质的门把手在长年累月的摩擦下，表面甚至有了一层类似釉质的包浆。

秘书先是在门上轻轻敲了两下，在里面响起一声“请进”之后，这才推开了大门。周硕跟在他的身后向里面走去，第一眼就看到了一个头发半白的老人，眼睛好像金鱼似的气鼓鼓的瞪着自己。

秘书将周硕带进来，通报了一下之后就被大领导赶了出去。不等大领导有所表示，老头就站起来向周硕走了过来。

他围着周硕转了两圈，上下打量着他问道：“你就是那个什么泛翰集团的领导？”

周硕笑着点了点头，对这老人的身份心知肚明，应道：“赵院长吧？我就是泛翰集团的董事长周硕。”

“你发明石墨烯制法的论文，我读过。”赵院长似乎满意的点了点头，说道：“思路很好，应该是个搞科研的好料子。”

周硕见他嘴里虽然说着恭维的话，神情却根本不带一点笑意，也不敢太过于随便了。这老人看起来起码六十开外，显然当学霸有年头了。只在那里一站，指点江山的气势就扑面而来。

“赵院长过奖了，我只是愚人千虑偶有一得而已。”

“哼，还算你有自知之明。”赵院长冷哼一声坐回旁边的沙发上，不客气的说道：“既然你也知道在科学技术上，能做出点成绩是偶有一得，也应该知道培养一个优秀的科学家是多么困难的事情。麻友公从26岁到我光电所，18年时间里才培养起这么一个能接班的人。你一声不响的，说把人抢走就抢走了？”

周硕抿了抿嘴唇，不卑不亢的说道：“麻友公先生是自愿到我泛翰研究所工作的，我们并没有逼迫他做出这个决定。”

“要不是你们引诱他，他会放下呆了18年的光电所吗！”赵院长不忿的怒吼道：“你们这些资本家打的什么主意我还不知道？他对你们来说就是个工具，有用就用没用就扔。你们有指导他项目的能力，还是有培养他学术地位的能力？用不了三五年，等他的知识体系落后了，还不是要泯然众人矣？”

周硕张了张嘴，沉默了下来。老头说的未尝不是实情，九十年代我们国家多少科学界的未来之星，都是倒在了外国公司这样的手段之下。

中国的人力成本很低，对于外企来说哪怕是把人民币工资等数换成美元，也仍然是低的让人发指。但中国的技术人员在做研究和开发上面，并不会比国外的工程师差多少。甚至由于牢固的科学知识基础，比那些刚毕业就要几千美元月工资的菜鸟，当做助手要优秀的多。

这些外企可以轻而易举的用高薪挖走他们每一个看上眼的人才，但却不会去培养他们。因为对于外国企业来说，这些人就是消耗品。反正国内的人力资源成本如此低廉，一旦一批人才的知识体系面临过时，只要淘汰掉他们再招募一批就好了。反正中国的科研院所就像非洲大草原一样，割掉一茬第二年雨季之后就又是一望无际的原野。

但对于那些没有更新知识体系的人才，这就非常残酷了。失去了科研的环境，没有了来自师长的指导，以及无穷无尽的科研任务、无处不在的竞争压力。很少有人能够在这样的条件下，仍然坚持自我提高和保持学习的劲儿头。

周硕坚定的摇了摇头，说道：“难道让像麻友公先生这样优秀的科学家，每个月只能领助理研究员每月800块钱的工资，就是对他负责了吗？”

“哼，你们知道什么？”赵院长嗤之以鼻道：“800块钱怎么了？想当初我六十年代参加工作那会儿，连实验室都是自己动手盖的。一个月工资五块二，每天吃的是馒头凉水咸菜疙瘩！怎么轮到你们这代人，连一点委屈都受不了。800块钱怎么了，难道你们这些资本家就不压榨他的剩余价值了？”

“麻友公先生的任何研究成果，其本人是可以享受技术股红利的。”周硕点了点头说道：“即使不谈这些福利，我每个月为他提供的工资就达到了一万两千块钱。我能为他这样优秀的科学家提供一个体面、而且有尊严的生活，赵院长我倒想问问，麻友公先生申请副研究员职称多少年了，为什么迟迟没有为他提升待遇？”

“你！哼……”赵院长悻悻的说道：“我们院里自然有院里的考虑，轮不到你一个外人来多管闲事！”

周硕可不管他这些狡辩，再接再厉道：“和他同年进院的刘维路，五年前就已经提了副研究员了吧？据说这人有个亲戚是……”

赵院长连忙打断周硕的话，满脸通红的一拍沙发扶手道：“我今天就要你一句话，麻友公你是还不还给我们光电所！”（未完待续。。）

第二百六十六章　打赌

周硕看着赵院长吹胡子瞪眼的样子，以同样斩钉截铁的态度回击道：“对不起，我们泛翰集团绝对尊重麻友公先生自由选择自己人生的权力。”

“那我就没有办法了。”赵院长沉着脸，看向科委大领导说道：“宋老你也看到了，光电所没有麻友公我可不敢给九五规划打包票了。”

“老赵，你这可真是！”大领导苦笑的摇了摇头说道：“就是一个人而已，你还真敢给我撂挑子啊！”

“这可不是一个人啊，你刚才也听到了，我们所出去一个人工资就能达到一万二。这要是传到了回去，下面人哪还有心思做研究？”赵院长冷哼一声，说道：“这人心散了，队伍可就不好带了。”

大领导虽然级别够高，但赵院长的资历在那摆着，也真是不好说的太绝对了。他含糊的说道：“哪有那么夸张，这样我让周硕做个保证。除了麻友公以外不再从光电所挖走一个人，你看怎么样？”

赵院长用力的摇了摇头，决绝的说道：“不行，麻友公一定要还给我们光电所。他的职称我们院里党委会已经过了，只要等审议完立刻就批。何况麻友公可是下一代光刻机光源系统的研究主力，没有他的话0。5微米工艺光刻机研制一定会受到影响。”

“老赵，你这是将我的军啊！”大领导皱了皱眉，说道：“难道你光电所连一个候补的都没有？”

赵院长老脸一红，支支吾吾的说道：“也不是没有，只不过水平差的太大。有几个不错的。早几年也都已经出国了。”

大领导愣了愣，长长的叹了口气。国家九五规划并非只是科学研究的规划。同时也是国家整体发展的战略规划。作为国。务。委。员大领导对上面的风向把握的很准，马上要提交的九五规划提出了一个非常关键的转变。那就是经济体制从传统的计划经济体制向社会主义市场经济体制转变。

也就是说上面目前的风向，是要国退民进的。这个时候自己插手国内私企的具体运作，难免有些逆风而动。但是光刻机发展是国家九五规划的重点项目，赵院长要真是撂挑子、起码是耍性子，那就真的要命了。想到这里，他也只好看向了周硕。

“周先生，关于麻友公的问题，你看是不是……”

周硕当即也顾不得打断领导讲话有些不礼貌了，一点点失礼。总比让大领导把话说出来自己拒绝的强。赵院长人家资历、年龄和成就摆在那里，倚老卖老大领导也得给几分面子。但他自己这小胳膊小腿的，又怎么能够学人家？

“恕我直言如果九五规划在光刻机项目上，目的是完成0。5微米工艺的国产化，那么麻友公先生并不需要回到光电所才能完成这个任务。”

赵院长失声笑道：“哈，难不成你们一个私人企业的研究所，还能支持他开发0。5微米光刻机这样的项目不成？没有了我们光电所，中科院微电子中心连0。8微米的光刻机都生产不出来！”

不成